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    一種銅膜的制備方法

    放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2009-05-23   作者:佚名
    銅之家訊: 申請?zhí)?專利號: 00110288一種銅膜的制備方法,其特征在于:以晶粒尺寸小于100nm的納米金屬Cu為原材料,純度高于99.995wt%,密度為8.91±0.03g/cm↑[3],在室溫冷軋,變

     

    申請?zhí)?專利號: 00110288 一種膜的制備方法,其特征在于:以晶粒尺寸小于100nm的納米金屬Cu為原材料,純度高于99.995wt%,密度為8.91±0.03g/cm↑[3],在室溫冷軋,變形速率:1×10↑[-5]~1×10↑[1]/s。本發(fā)明制備出的銅膜表面質(zhì)量好,可以達(dá)到很薄的厚度,并且工藝簡單,使用普通的軋制設(shè)備即可實(shí)現(xiàn)。

    申請日: 2000年04月05日
    公開日: 2001年10月10日
    授權(quán)公告日: 2003年07月30日
    申請人/專利權(quán)人: 中國科學(xué)院金屬研究所
    申請人地址: 遼寧省沈陽市沈河區(qū)文化路72號
    發(fā)明設(shè)計(jì)人: 盧磊;斯曉;陶乃镕;隋曼齡;盧柯
    專利代理機(jī)構(gòu): 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司
    代理人: 張晨
    專利類型: 發(fā)明專利
    分類號: B21B1/40;C22F1/08

     


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