在JGP560V磁控濺射鍍膜設(shè)備上鍍制多晶銅膜,利用納米壓入技術(shù)測(cè)量了其室溫下的蠕變性能。結(jié)果表明:由于不同加載方式下,材料加工硬化程度的不同造成了應(yīng)力指數(shù)的差異,因而,不同加載方式對(duì)測(cè)得的銅膜蠕變應(yīng)...
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